Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Авторы книги: id книги: 717446     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0

Ниже по кнопкам можно купить бумажную книгу в интернет-магазинах по самым выгодным ценам с доставкой в Москве, Санкт-Петербурге и других городах России!

Смотреть на сайте Лабиринта Купить в других магазинах Бумажная книга Жанр: Химические науки Правообладатель и/или издательство: Бином. Лаборатория знаний Дата публикации, год издания: 2014 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-94774-904-5

Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgC8Csm.

Описание книги

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Подняться наверх