Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2
Автор книги: id книги: 87670     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 264 руб.     (2,85$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Техническая литература Правообладатель и/или издательство: "БИНОМ. Лаборатория знаний" Дата публикации, год издания: 2012 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-9963-0913-9, 978-5-94774-583-2 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2
Подняться наверх