Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Автор книги:     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывов: 0 699 руб.     (8,89$) Купить и читать книгу Купить бумажную версию Электронная книга Жанр: Учебная литература Правообладатель и/или издательство: "Издательство ЮРАЙТ" Дата публикации, год издания: 2016 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 9785991671552 Возрастное ограничение: 0+

Описание книги

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Подняться наверх