Описание книги
В курсе лекций изложены основные особенности расчета и проектирования вакуумных систем технологического оборудования, применяемого для получения металлических, полупроводниковых и композиционных материалов. Рассмотрена методика расчета низко-, средне- и высоковакуумных систем, приведены алгоритмы выбора вакуумной системы, соединения и согласования вакуумных насосов, расчета газовых потоков и распределения давлений. Даны принципы проектирования вакуумного технологического оборудования, с применением объектно-ориентированной модели вакуумной системы и с использованием баз данных.