Ниже по кнопкам можно купить бумажную книгу в интернет-магазинах по самым выгодным ценам с доставкой в Москве, Санкт-Петербурге и других городах России!
Смотреть на сайте ЛабиринтаБумажная книгаЖанр: ЭнергетикаПравообладатель и/или издательство: Инфра-ИнженерияДата публикации, год издания: 2022Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-9729-0846-2
Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgC8Csm.
Описание книги
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства.
Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
