Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2

Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2
Автор книги: id книги: 2555541     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 581 руб.     (6,84$)

Ниже по кнопкам можно купить бумажную книгу в интернет-магазинах по самым выгодным ценам с доставкой в Москве, Санкт-Петербурге и других городах России!

Купить книгу на сайте Лабиринта Купить в других магазинах Бумажная книга Жанр: Радиоэлектроника. Связь Правообладатель и/или издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана Дата публикации, год издания: 2018 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-7038-4864-7

Реклама. ООО "ЛАБИРИНТ.РУ", ИНН: 7728644571, erid: LatgC8Csm.

Описание книги

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2
Подняться наверх