Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Автор книги: id книги: 554494     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 118 руб.     (1,16$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Учебная литература Правообладатель и/или издательство: ФГБОУ ВПО "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" Дата публикации, год издания: 2014 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-7038-3798-6 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Подняться наверх