Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
Автор книги: id книги: 2643061     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 144 руб.     (1,79$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Правообладатель и/или издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) Дата публикации, год издания: 2020 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-7038-5369-6 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
Подняться наверх