Описание книги
Цель пособия – изучение методов получения, исследования и контроля свойств наноматериалов и наноструктур, применяемых при изготовлении компонентов нано- и микросистемной техники. Тематические разделы содержат теоретический учебный материал и дидактический аппарат (контрольные вопросы, примеры, упражнения, задачи, тесты) для самоконтроля студентов. Соответствует современным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта среднего профессионального образования и профессиональным квалификационным требованиям. Учебное пособие предназначено для обеспечения подготовки студентов техникумов и колледжей.