Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Автор книги: id книги: 96603     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 275 руб.     (3,03$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Техническая литература Правообладатель и/или издательство: "БИНОМ. Лаборатория знаний" Дата публикации, год издания: 2012 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-9963-0915-3 Возрастное ограничение: 0+

Описание книги

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Подняться наверх