Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Автор книги: id книги: 96686     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 297 руб.     (3,27$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Техническая литература Правообладатель и/или издательство: "БИНОМ. Лаборатория знаний" Дата публикации, год издания: 2013 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-9963-2129-2 Возрастное ограничение: 12+

Описание книги

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Подняться наверх