Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Автор книги: id книги: 554772     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 118 руб.     (1,28$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Учебная литература Правообладатель и/или издательство: ФГБОУ ВПО "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" Дата публикации, год издания: 2006 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 5-7038-2926-7 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Подняться наверх