Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Автор книги: id книги: 554746     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 118 руб.     (1,28$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Учебная литература Правообладатель и/или издательство: ФГБОУ ВПО "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" Дата публикации, год издания: 2013 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-7038-3729-0 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Подняться наверх