Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Авторы книги: id книги: 877256     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 120 руб.     (1,17$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Техническая литература Правообладатель и/или издательство: НИТУ «МИСиС» Дата публикации, год издания: 2007 Дата добавления в каталог КнигаЛит: Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Подняться наверх