Формирование функциональных слоев

Формирование функциональных слоев
Автор книги: id книги: 2643021     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 180 руб.     (1,79$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Правообладатель и/или издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) Дата публикации, год издания: 2020 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-7038-5350-4 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Формирование функциональных слоев
Подняться наверх