Читать книгу Микромеханические системы и элементы - Андрей Кашкаров - Страница 10

Высокопроизводительный трехосевой емкостной акселерометр изготовлен по специальной технологии 3D-МЭМС и представлен на рис. 1.7.

Рис. 1.7. Высокопроизводительный трехосевой емкостной акселерометр

В корпусе датчика находятся высокоточный чувствительный элемент для определения ускорений и сервисная электроника (ASIC) с гибким цифровым выходом SPI.

Схематичное расположение ASIC и блока сенсорного элемента в датчиках подобной конструкции показано на рис. 1.8.

Рис. 1.8. Схематичное расположение ASIC и блока сенсорного элемента

На рис. 1.9 представлен внешний вид высокопроизводительного 3-осевого емкостного акселерометра.

Рис. 1.9. Внешний вид платы высокопроизводительного 3-осевого емкостного акселерометра

Корпус акселерометра изготовлен из пластика, а крышка – из металла. В нижней части корпуса по обеим сторонам расположены плоские свинцовые выводы для поверхностного монтажа на печатную плату. На рис. 1.10 представлен внешний вид готового корпуса акселерометра.

Рис. 1.10. Конструкция корпуса акселерометра

Подобная конструкция корпуса гарантирует надежную работу сенсора на протяжении всего жизненного цикла. Для обеспечения стабильного выхода акселерометры подобного класса разрабатываются, производятся и тестируются в широком диапазоне температур, влажности и механического шума. У датчика есть возможность самодиагностики по нескольким сценариям. Он полностью совместим с одно- и двухосевыми акселерометрами данного типа, что дает возможность комбинировать датчики при построении различных сенсорных систем.