Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Автор книги: id книги: 676637     Оценка: 0.0     Голосов: 0     Отзывы, комментарии: 0 550 руб.     (5,37$) Купить и читать книгу Купить бумажную книгу Электронная книга Жанр: Физика Правообладатель и/или издательство: ФГУП «Издательство СО РАН» Дата публикации, год издания: 2011 Дата добавления в каталог КнигаЛит: ISBN: 978-5-7692-0669-6, 978-5-7692-1183-6 Возрастное ограничение: 0+

Реклама. ООО «ЛитРес», ИНН: 7719571260.

Описание книги

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.

Добавление нового отзыва

Комментарий Поле, отмеченное звёздочкой  — обязательно к заполнению

Отзывы и комментарии читателей

Нет рецензий. Будьте первым, кто напишет рецензию на книгу Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Подняться наверх